普发真空介绍了一种新型涡轮增压机应用于implantación的HiPace 2800 IT

23.11.2020
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Con el HiPace 2800 IT, Pfeiffer真空展示了turbobomba特别专用的para应用程序implantación de iones。
普发真空介绍了一种新型涡轮增压机应用于implantación的HiPace 2800 IT

Turbobombas de vacío Pfeiffer HiPace 2800 IT。(Fuente de la imagen: Pfeiffer Vacuum)

El sofisticado diseño del rotor de la turbobomba a como resultado una velocidad de bombeo optimizada para gas ligeros。Esto asegura una mumubuena adaptación del proceso para los procesde implantación de iones, donde el hidrógeno es el gas que más se accumulation。conuna velocidad de bombeo de hidrógeno de 2600 l / s, la nueva HiPace 2800 IT是该型号的主要涡轮炸弹机。

“智能系统”gestión“温度系统”condensación“过程系统”deposición“爆炸系统”允许配置的温度,个别para一个理想的el过程。对特殊转子加强型转子加强型转子加强型转子进行了重新评估。艾尔会basadas en el llamado rodamiento hibrido, una combinacion de rodamientos de流星锤德总理德陶瓷en el vacio额y rodamientos径向magneticos永久en el alto vacio,总理是turbobombas HiPace tienen联合国diseno怡。留香rodamiento尤其是为了有效地进行重新评估,以形成一个基础,即通过延长活动时间和máximo延长活动时间来延长时间。

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