普发真空stellt新涡轮泵HiPace 2800 IT 离子植入治疗方案

23.11.2020
麻省理工学院HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer真空管涡轮泵vor台,die speziell fellenen着床,prozesse konzipiert ist。
普发真空stellt新涡轮泵HiPace 2800 IT <s:1>离子植入治疗方案

普发真空涡轮泵HiPace 2800 IT。(Bildquelle: Pfeiffer Vacuum)

涡轮泵转子结构优化技术研究(英文):Saugvermögen [f] [r]。Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung fgr ionenenplanationsprozesse, bei denen inbesonere Wasserstoff entsteet。Mit einem Saugvermögen von 2600 l/s f r Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die best Turbopumpe ihrer Klasse。

该智能温度管理系统与prozesskondenation和ablagerungen内部泵系统相结合。Es ermöglicht die individuelle einstein der temperature, um den Prozess optimal zu untersttzen。Die spezielle Beschichtung des tors gewährleistet Die Beständigkeit gegen ber allen materials f r ionenimplant prozzesse。混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统,混合动力系统[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]

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