普发真空stellt新涡轮泵HiPace 2800 IT 离子植入治疗方案

普发真空涡轮泵HiPace 2800 IT。(Bildquelle: Pfeiffer Vacuum)
涡轮泵转子结构优化技术研究(英文):Saugvermögen [f] [r]。Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung fgr ionenenplanationsprozesse, bei denen inbesonere Wasserstoff entsteet。Mit einem Saugvermögen von 2600 l/s f
该智能温度管理系统与prozesskondenation和ablagerungen内部泵系统相结合。Es ermöglicht die individuelle einstein der temperature, um den Prozess optimal zu untersttzen。Die spezielle Beschichtung des tors gewährleistet Die Beständigkeit gegen
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