Pfeiffer真空stellt energiesparende Trockenläufer vor
模具Trockenläufer a100l mith ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen集成在halbleter生产和生产一体化。Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind理想状态

Trockenläufer A 100 L ES(图片:普发真空)
Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten病泵在hohes Saugvermögen和kurze Abpumpzeiten。在allen fhrenden Halbleiterfabriken安装的100 L抽风管。压气机及压气机设计[j]。
Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet他的50 proproent niedrigeren Energieverbrauch (ES = Energy Saving)。我niedrigen Druckbereich ist das Saugvermögen deutlich erhöht。Weitere Vorteile、nederger、Enddruck和reduzierter Geräuschpegel。荷兰拥有创新的、完整的es - module能源模块,包括energeverbrauch和最小驱动Druckbereich。die reduziert die Betriebskosten deutlich。Zur Veranschaulichung: Die jährlichen esinsparungen pro Pumpe betragen bis z7900 kWh。排放3,9吨二氧化碳。Auf einer Ebene mit1.300 Schleusenpumpen inner haliner typischen Halbleiterfabrik (Fab) f
Neben der energieinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7x10- 4mbar (hPa) erreichen。Somit eröffnen sich neue Möglichkeiten f
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