Pfeiffer真空stellt energiesparende Trockenläufer vor

25.01.2013

模具Trockenläufer a100l mith ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen集成在halbleter生产和生产一体化。Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind理想状态 (r saubere Anwendungen wie Schleusen)和Transferkammern sowif (r alle anderen nichtrosiven Anwendungen)。

Pfeiffer真空stellt energiesparende Trockenläufer vor

Trockenläufer A 100 L ES(图片:普发真空)

Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten病泵在hohes Saugvermögen和kurze Abpumpzeiten。在allen fhrenden Halbleiterfabriken安装的100 L抽风管。压气机及压气机设计[j]。

Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet他的50 proproent niedrigeren Energieverbrauch (ES = Energy Saving)。我niedrigen Druckbereich ist das Saugvermögen deutlich erhöht。Weitere Vorteile、nederger、Enddruck和reduzierter Geräuschpegel。荷兰拥有创新的、完整的es - module能源模块,包括energeverbrauch和最小驱动Druckbereich。die reduziert die Betriebskosten deutlich。Zur Veranschaulichung: Die jährlichen esinsparungen pro Pumpe betragen bis z7900 kWh。排放3,9吨二氧化碳。Auf einer Ebene mit1.300 Schleusenpumpen inner haliner typischen Halbleiterfabrik (Fab) f 300 mm- wafer beträgt die energieinsparung its zu 10gwh。模具企业为36万欧元订单5100吨二氧化碳pro Jahr。

Neben der energieinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7x10- 4mbar (hPa) erreichen。Somit eröffnen sich neue Möglichkeiten f r Anwendungen, die eine höhere Pumpenleistung bei geringem Druck erfordern。Zudem verringert sich der Geräuschpegel von 58 dB (A) auf 55 dB (A). Mit der A 100 L ES风模produckfamilie der energiesparenden prozessspumpen der Serien A3P f r mittelschwere和A3H f r anspruchsvolle Anwendungen vervollständigt。

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